Fraunhofer Institute for Photonic Microsystems, Maria-Reiche-Str. 2, 01109 Dresden, Germany Semiconductor and Microsystems Technology Laboratory, Dresden University of Technology, Noethnitzerstr. 64, 01187 Dresden, Germany;
Fraunhofer Institute for Photon;
microscanner; vertical comb drive; AVC; SVC; quasi static scanning; solid body mechanism; w2w bonding;
机译:高纵横比聚对二甲苯基梳齿驱动执行器的设计和制造,可在低驱动力下实现大排量
机译:单片硅基板上微机电系统垂直梳状驱动致动器的制造技术
机译:3D智能梳齿驱动加速度计结构的数值建模机械模型
机译:用机械诱导的永久性置换来制造3D梳状驱动微张镜
机译:具有梳齿驱动器的微机电系统(MEMS)的自校准:弯曲宽度,间隙,位移,力和刚度的测量。
机译:增值税光聚合3D打印用高介电常数树脂复合材料的制备:形态热动态力学和介电性能
机译:自组装3D硅微扫描仪,带有自组装静电驱动器