Department of Mechanical Engineering, and Institute for Systems Research University of Maryland, College Park MD;
DRIE; micro optical switch; SA; thermal actuator; comb drive; MOEMS;
机译:通过深反应离子刻蚀制造的垂直镜,用于光纤交换应用
机译:在绝缘体上使用双面深反应离子蚀刻制造的光学MEMS加速度计
机译:硅深反应离子刻蚀制造的折射可变光衰减器
机译:深度反应离子蚀刻(Drie)制造的高功率光学微型开关
机译:用于芯片堆叠应用中通孔形成的深反应离子刻蚀(DRIE)的特性。
机译:通过深度反应离子刻蚀朝着微创诊断的方向制造锋利的硅空心微针
机译:使用时间多重蚀刻钝化工艺的高深宽比SiC微结构的深度反应离子蚀刻(DRIE)