...
机译:通过深反应离子刻蚀制造的垂直镜,用于光纤交换应用
机译:通过深反应离子刻蚀制造的微孔X射线聚焦镜的磁场辅助修整
机译:通过深反应离子刻蚀制备的高垂直度侧壁的X射线评估
机译:用于电子冷却应用的深度反应离子刻蚀制造的分层分支微通道冷却器的研究
机译:通过反应离子刻蚀制造的垂直镜,用于光纤交换应用
机译:用于芯片堆叠应用中通孔形成的深反应离子刻蚀(DRIE)的特性。
机译:锗和硅的时分复用深反应离子刻蚀—机理比较及在X射线光学中的应用
机译:深度反应离子蚀刻工艺制造的MEMS盘谐振器阵列复合材料的电压控制调谐倾斜度