Digital Light Innovations, 3201 Industrial Terrace, Austin, TX 78758, USA;
Colour Scanner Technology GmbH, Krieger Strasse 26a, 82110 Germering, Germany;
direct imaging; maskless lithography; DMD; screen print; prepress; PCB; FPD; resolution; throughput;
机译:适用于27.5 nm半间距Si技术的热探针无掩模光刻
机译:用于高通量无掩模电子束光刻的多轴和多束技术
机译:无掩膜激光光刻技术,用于在ITE中快速进行微技术和纳米技术的设备原型
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机译:无掩模微离子束减少光刻系统的分辨率提高和图案发生器开发。
机译:LBL纳米复合薄膜的直接写入无掩模光刻及其对MEMS技术的前景
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机译:无掩模光刻和非传统图案的创新技术