IMEC, Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, Belgium;
Tokyo Electron America, Inc., 2400 Grove Boulevard, Austin, TX 78741;
Intel assignee to IMEC;
IMEC, Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, Belgium Rochester Institute of Technology, 82 Lomb Memorial Dr., Rochester, NY 146;
EUV; absorbance; resist; interference lithography; simulation;
机译:更快的高分辨率抗蚀剂设计:从EUV光子获得更多的酸产率
机译:通过添加产酸促进剂来增强化学放大的EUV抗蚀剂的灵敏度
机译:分子动力学模拟研究甲基丙烯酸酯型EUV光刻胶膜中光产酸剂的不均匀性
机译:EUV抵抗要求:吸光度和酸产量
机译:极紫外光致抗蚀剂:薄膜抗蚀剂的薄膜量子产率和LER。
机译:高敏感性抗蚀性对EUV光刻进行抗衡性:材料设计策略和绩效结果综述
机译:更快的高分辨率抗蚀剂设计:从EUV光子获得更多的酸产量