アルミニウム支援気相化学エッチングの加工特性の評価

摘要

アルミニウム（Al）支援気相化学エッチング[1]は、化学的手法による酸化シリコン（SiO2）の異方性高速加工を可能とするエッチング技術である。Al 直下のSiO2 が削られ、SiO2 にAl パターンが潜り込むような形でエッチングが進行する。これまでAl により高速なエッチング加工が可能であることが示されていたものの、その加工特性については未だ十分に評価されていなかった。本研究では、この技術をより精密で高速なエッチング技術として確立することを目的として、その加工特性について評価を行った。