アルミニウム支援気相化学エッチングの加工特性の評価

摘要

ァノレミニゥム（A1)支援気相化学エッチング[1]は、化学的手法による酸化シリコン（Si02)の異 方性高速加工を可能とするエッチング技術である。A1直下のSi02が削られ、Si02にA1パターン が潜り込むような形でエッチングが進行する。これまでA1により高速なエッチング加工が可能で あることが示されていたものの、その加工特性については未だ十分に評価されていなかった。本 研究では、この技術をより精密で高速なエッチング技術として確立することを目的として、その 加工特性について評価を行った。