炎エッチングによる 炎エッチングによる タングステ探針 タングステ探針 作製 法

摘要

タングステン(W)探針は、特に走査トンネル顕微鏡(STM)プローブとして広く活用され、金属か ら有機分子膜まで幅広い物質の構造評価に使用されている[1,2]。 W線を大気中にてKOH溶液等 で化学エッチし、続けて超高真空中で適切に加熱処理する手法が確立されている[3]。