針型ェミッタ一からのプロトン性イオン液体のビーム生成：高集束性かつ高感度なSIMS用クラスターイオン源を目指して

摘要

二次イオン質量分析（Secondary Ion Mass Spectrometry: SIMS)は、半導体中の微量元素分析等に おいて不可欠な技術となっているり。しかし、分析対象が有機材料の場合には、多くの課題があ る。その一つが、有機材料に適した一次イオンビーム源の開発である。ガスクラスター2)や帯電液 滴3)などの巨大クラスタ一^Tオンは、感度や低損傷性に優れている。しかし一般的には、ビーム の集束性が高レ、ことから液体金属クラスタ一^Tオン源が、感度等には劣るものの使用されている。