有機無機ハイブリッドペロブスカイトの2段階真空蒸着法における成膜機構

摘要

近年、AMX_3 （A: 有機カチオン, M: 金属カチオン, X: ハロゲンアニオン）という組成を持つ有機無機ハイブリッドペロブスカイト（OHP）が新しい半導体材料として注目を集めている。OHPは約1.4 eVのバンドギャップを持ち、可視光を強く吸収し、長いキャリア寿命や高いキャリア移動度を持つことから、理想的な太陽電池材料である。特に太陽電池用途では、溶液法を用いてOHPを成膜することが一般的である。一方、真空蒸着法には、不純物としての溶媒分子の取り込みが起こらないという利点がある。本研究では、以前に提案した膜厚や成膜条件の制御性に優れる 2段階真空蒸着法（SVE 法）により Pbを含むペロブスカイト薄膜を成膜し、高純度かつストイキオメトリックな薄膜を得るための成膜条件と機構を調べた。