有機薄膜トランジスタのゲート絶縁膜表面処理法としてのプラズマ窒化処理効果の評価

摘要

有機半導体は、無機半導体に比べ軽量で柔軟性があり、衝撃に強く、さらにデバイス製造時に高温プロセスを必要としないといった特徴を持つ。また、有機化合物は溶媒に溶けるため、印刷技術を用いて大面積の回路を作製することができるなど様々な利点がある。有機半導体は、これらの利点を活かし、電子ペーパーやフレキシブルディスプレイなどへの応用が期待されている。