大型ガントリ型リニアモータスライダの周波数応答取得による動特性解析:歪みの影響に関する検証

摘要

近年，産業界において多くの搬送装置にリニアモータスライダが用いられている．リニアモータスライダで高重量物を搬送する際には高出力化が必要となる．そのため，複数の汎用モータを1 軸搬送系に用い，全体として1 つのスライダを構成する方法が多用されている．この1 例として，ガントリ型リニアモータスライダがあり，液晶パネルの製造装置[1]やマシニングセンタの送り軸[2]にこの機構が用いられている．