Dept. of Phys. and Meas. Techn., University of Linkoeping, SE-581 83 Linkoeping, Sweden;
annealing; D_(II); ion implantation; SiC;
机译:植入的4H-和6H-SiC的室温物理特性
机译:高温下高剂量离子注入金刚石的结构和电学性质的变化:取决于施主/受主杂质的种类
机译:具有离子注入保护环的Mo / 4H-SiC肖特基二极管的电气特性:温度和注入剂量的相关性
机译:植入的4H-和6H-SiC的室温物理特性
机译:一种通用物种离子注入模型,用于使用多种材料将其注入地形复杂的结构中。
机译:注入后退火过程中辐照的6H-SiC中氦气气泡和圆盘的演变
机译:碘在高温下有助于在6H-siC中保留植入的银
机译:高剂量氧注入硅的微观结构及其对注入条件的依赖性