Institute of Microelectronics, A#x2217;
STAR (Agency for Science, Technology and Research), 11 Science Park Road, Singapore;
机译:在200℃以下优化的超薄锰合金钝化细间距大马士革兼容的无凸点Cu-Cu键用于三维集成应用
机译:晶圆级Cu-Cu热压键合的表面预处理方法研究
机译:晶圆级Cu-Cu直接键合用于3D集成
机译:晶圆水平凸块Cu-Cu键合的机械表征
机译:采用金-硅共晶结合和局部加热的低温晶圆级真空包装
机译:晶圆级Cu-Cu热压键合的表面预处理方法研究
机译:金属合金Cu表面钝化导致用于3D IC和异构整合应用的高质量细间距凸块Cu-Cu键合