LCD真空贴合基板粘附和剥离单元的研制

摘要

介绍了AESUV-110LCD真空贴合装置的构成和工艺流程，分析ESC定盘存在的问题，优化了真空贴合工艺流程。设计并测试完成了新型的基板粘附和剥离单元，确认其结构和性能满足使用要求。