アルパックのLCD用スパッタリング装置基板大型化に伴う，技術革新の全貌真空リターン・縦置きが鍵を握る

摘要

アテルパックは，LCD用スパッタ装置市場でトップ シェアを有している。基板大型化に伴う，ブレーク スルーの数々が財産だ。同社のLCD用スパッタ装 置について，同社第1FPD事業部　第1技術部　部長 の佐藤重光氏および第2FPD事業部第　1技術部　部 長の今村俊一氏に話を伺った。