激光划痕法测定薄膜界面结合强度的研究

摘要

界面结合强度足评价薄膜质量一项关键性指标，红外激光准静态划痕法是应用于测量硬质薄膜基体界面结合强度一种新型的检验方法。分析了红外激光划痕、X射线衍射检测诊断和表面热透镜检测诊断等技术，研究了激光划痕试验法表征薄膜涂层界面结合强度的原理、方法与过程，其检测膜基界面结合强度方法可对试样进行非接触检测，适用于各种热障薄膜的界面结合强度测量，具有深远的科研价值和广阔的工程应用前景。