用单摆冲击划痕法测定膜基界面结合强度

摘要

膜和基体之间界面结合强度是评价膜层质量很重要的性能指标。采用单摆冲击划痕法对膜基界面结合强度进行了定量研究。单摆冲击划痕法具有动态加载的特性,可从力和能量两个方面获得膜基破坏过程信息,用其测定的膜基界面单位面积所消耗的能量ε可用来定量表征膜基界面结合强度。研究结果表明,提高镀层磷含量、选择合适的基材表面粗糙度(Ra≈0.4μm)和合适的热处理温度(400℃)有利于提高Ni P化学镀层的界面结合强度和临界法向载荷。