一种新型压电式双向无阀微泵的研制

摘要

本文采用氧化、光刻、腐蚀、键合等MEMS技术,研制了一种硅基压电式双向无阀微泵,泵的外形尺寸为30×14×3 mm3,泵腔体体积约10 mm3.通过大量试验测试,得到了泵压、流量与工作频率、波形、电压幅值之间的关系.当工作电压为110 V、频率为40 Hz时,微泵的正向最大泵压为120 mm水柱,频率为50-90 Hz时,最大流量70μl/min;当频率为35 Hz时,微泵的反向最大泵压为70 mm水柱,最大流量56μl/min.