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低阻P型衬底上高阻厚层N型外延

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本文介绍了高阻厚层反型外延片的一种实用生产技术,即在常压外延设备上,采取特殊的工艺控制在电阻率＜0.02Ωcm的P型低阻衬底上实现了高阻厚层N型外延生长.

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来源
《第十四届全国半导体集成电路、硅材料学术年会》|2005年|327-328|共2页
会议地点北京
作者
谭卫东; 马利行; 骆红; 唐有青; 张文清;
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作者单位

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TN304.054.4;
关键词
外延生长; 高阻厚层; 自掺杂; 低阻P型衬底;

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