首页> 中文会议>第十二届全国半导体集成电路硅材料学术会议 >电子束曝光机模拟技术研究

电子束曝光机模拟技术研究

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

本文建立一个描述电子在多元多层介质中散射过程的物理模型,在此基础上运用Monte Carlo方法模拟电子在靶体PMMA-衬底中的复杂散射过程,给出模拟结果.

著录项

来源
《第十二届全国半导体集成电路硅材料学术会议》|2001年|431-434|共4页
会议地点昆明
作者
任黎明; 陈宝钦; 刘明; 张建宏;
展开▼
作者单位

中国电子学会;

展开▼
会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类氧化层生长;
关键词
电子束曝光; Monte Carlo方法; 弹性散射; 非弹性散射; 计算机模拟技术;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 电子束缩小投影曝光机对准模拟软件应用 [J] . 史强 ,靳鹏云 ,张福安 . 微细加工技术 . 2002,第003期
2. 电子束缩小投影曝光机对准模拟软件设计 [J] . 史强 ,靳鹏云 ,张福安 . 微电子学与计算机 . 2002,第5期
3. 电子束直写曝光机的原理与常见问题分析 [J] . 郝晓亮 ,赵英伟 ,王秀海 . 电子工业专用设备 . 2020,第002期
4. 4700 S电子束曝光机图形曝光模式及其应用 [J] . 董磊 . 微处理机 . 2014,第005期
5. 基于FPGA的电子束曝光机工件台控制器设计 [J] . 李勇滔 ,韩立 ,薛虹 . 电子工业专用设备 . 2009,第004期
6. 基于SEM的纳米级电子束曝光机系统设计 [C] . 顾文琪 ,薛虹 ,韩立 . 第十三届全国电子束、离子束、光子束学术年会 . 2005
7. 电子束曝光机激光定位精密工件台测量系统研究 [A] . 乔俊仙 . 2006

获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

客服微信
服务号