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双金属热致动微执行器研究

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介绍了一种利用两种材料热膨胀系数不同原理制造热执行器的方案.本方案采用双金属悬臂梁做微镜子的位置驱动器,并详细介绍了它的加工工艺.

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来源
《中国兵工学会第10届测试技术研讨会》|2000年|755-758|共4页
会议地点合肥
作者
魏京信; 张文栋; 李永红;
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作者单位

中国兵工学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TP271.4;
关键词
微机电系统; 双金属热致动; 微执行器; 加工工艺;

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