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张永宇; 沈雪瑾; 赵江铭; 陈晓阳;
中国机械工程学会;
微热致动器; 微夹钳; 多晶硅; 微机电系统;
机译:不同表面条件下硅微通道对流换热的实验研究
机译:直拉硅中热致微缺陷的平衡形状的热力学和动力学考虑
机译:使用嵌入的氧化氧化物沟槽的热致动的热致动的内面谐振气体传感器的温度补偿
机译:微插头热毛细管致动的理论和实验研究
机译:真空间隙夹钳微束在热隧道中的数学建模与稳定性分析
机译:基于微通道和微引脚芯片的硅与硅直接粘接的微通道和微销翅片的实验研究
机译:电致热驱动聚合物微夹钳的设计优化
机译:微观环境力反射遥操作的最小表面效应微夹钳设计
机译:用于致动微机械致动器的控制器,用于致动微机械致动器的致动系统,微镜系统以及用于致动微机械致动器的方法
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