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C-V法分析本征非晶硅薄膜钝化晶体表面的特性

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介绍了目前人们对非晶硅表面钝化本质的认识在半导体物理方面多限于钝化后硅片少子寿命的提高以及由此推算所得表面复合速率的大小,认为这还不能清晰解答钝化作用的本质,因为钝化薄膜的作用包括对悬挂键的减少以及表面固定电荷的变化等多种机制.

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来源
《第十二届中国太阳级硅及光伏发电研讨会》|2016年|1-14|共14页
会议地点浙江嘉兴
作者
龚敏刚; 黄海宾; 田罡煜; 肖友鹏; 高超; 邓新华; 周浪;
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作者单位

中国可再生能源学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TN304.12:TN304.055;
关键词
非晶硅薄膜; 钝化工艺; 少子寿命; 悬挂键;
入库时间 2022-08-17 11:14:41

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