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Sentaurus TCAD软件在AlGaN/GaN HEMT的仿真模拟的应用

摘要

本文主要就Sentaurus TCAD软件及其在AlGaN/GaN HEMT的仿真模拟的应用进行探讨.Sentaurus TCAD软件在半导体器件模拟领域应用广泛,包括很多物理模型,能够很好地模拟物理特性.在利用软件对AlGaN/GaN HEMT器件的栅双场板结构进行击穿电压仿真,得到不同间距场板结构对器件击穿电压有明显的影响.

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