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肖建农; 随郁文; 秦舒;
中国有色金属学会;
外延; 工艺; SiH〈; 2〉Cl〈; 2〉; 多晶硅;
机译:鉴于极低温选择性外延工艺,研究了Cl-2蚀刻
机译:通过在CVD工艺中加入HCl气体在4H-SiC外延膜上异常生长的大凸块的起源
机译:通过使用SiH_2Cl_2和SiH_3CH_3气体的平行Langmuir工艺加速了硅外延生长
机译:使用基于Si_3H_8 / SIH_3CH_3 / PH_3 / CL_2的循环沉积和蚀刻工艺,用于NMOS器件的原位掺杂SICP / SIP层的高吞吐选择性外延生长
机译:通过分子能级相互作用的分子束外延研究了解薄膜形成,以便将沉积工艺条件与2种材料(MgO和Cs3sb)的器件性能联系起来
机译:HVOF工艺在ZnCl2-KCl中高温下应用Ni20Cr涂层的电化学研究
机译:外延剥离法:III / V材料和HF蚀刻工艺研究
机译:使用siCl4 / BCl3 / Cl2化学品通过可制造的RIE工艺对通孔蚀刻进行批判性分析
机译:衬底表面半导体材料的工艺外延层的研究
机译:液相外延半导体工艺研究
机译:使用HCL和N型掺杂剂气体进行外延清洗工艺,以降低缺陷密度和自动掺杂效果
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