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夏立芳; 马欣新; 孙跃; 孙明仁;
中国机械工程学会;
离子注入; 等离子体; 化学热处理;
机译:离子注入磷掺杂微波等离子体化学气相沉积金刚石薄膜的场发射特性
机译:Mg-1Ca合金在热处理和等离子体化学氧化层作用下的生物降解行为研究
机译:氧等离子体化学和热处理对丁醇2转化中Na_3ZrM(PO_4)_3磷酸盐(M = Zn,Co,Cu)活性的影响
机译:用于CMOS器件的等离子体离子注入掺杂的等离子体化学研究
机译:在卤基等离子体化学中对ha基金属氧化物薄膜进行构图的反应机理。
机译:H2等离子体预处理对微波等离子体化学气相沉积法垂直排列碳纳米管生长的影响
机译:弱磁场中的束流等离子体放电作为等离子体化学反应器的等离子体源
机译:ICl和IBr基化学中的电感耦合等离子体蚀刻:第一部分:Gaas,Gasb和alGaas;等离子体化学和等离子体处理
机译:等离子体处理方法,等离子体处理装置,等离子体化学气相沉积方法和等离子体化学气相沉积系统
机译:GEH4 / AR等离子体化学法,用于离子注入生产率的提高
机译:等离子体化学真空沉积装置,等离子体产生方法和等离子体化学真空沉积方法
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