正交复合梁--质量块结构硅微机械陀螺

摘要

该文介绍一种正交复合梁－质量块结构的硅微机械陀螺。正交复合梁由垂直梁和水平梁两部分构成，是多层结。采用无掩模腐蚀新技术已实现了这种结构，并研制了一种静电驱动、压阻检测的振动式微机械陀螺。当驱动电压为6V AC+15V DC，电桥电压为5V时，电桥的灵敏度为0.22μV/(°/sec)。该陀螺的一个突出优点是可以在大气中工作。