碳氢氯体系低压ＣＶＤ金刚石生长的驱动力

摘要

根据非平稀热力学研究了该体系金刚石相生长的驱动力，不仅从理论上解释了低压下金刚石可以连续生长的实验事实，而且从理论上解释了过多氯的添加会影响金刚石薄膜沉积质量的事实。