碳氢氟体系低压生长金刚石的相图

摘要

本文从理论上首次计算了含卤素体系中生长金刚石薄膜的三元相图。研究了碳－氢－氟体系中金刚石生长区随衬底温度及氟含量的变化趋势，与实验比较，符合较好。