CO/H_2体系低压气相生长金刚石的相图

摘要

自80年代以来,人造金刚石低压气相生长的研究取得了很大突破,已先后发展了热丝CVD、微波等离子体CVD、乙炔燃烧火焰、直流等离子体炬和激光辐射淀积等多种制备技术。与此同时,对金刚石气相生长的理论研究也十分引人注目。近年来,作者之一提出的非平衡热力学耦合模型从热力学上合理地解释了金刚石在低压气相中的稳定生长。