合肥Ｗｉｇｇｌｅｒ光源用于深度同步辐射光刻特性计算

摘要

微型机械技术将给工业领域带来深刻的变革，它被认为是未来工业的一项基础技术。ＬＩＧＡ技术是制作微电子机械的一种重要加工方法。主要对合肥同步辐射光源用于ＬＩＧＡ技术深度光刻的曝光时间和曝光特性进行了计算分析。计算结果表明合肥Ｗｉｇｇｌｅｒ光源是用于深度同步辐射光刻的理想光源之一。