VLSI中栅氧的圆片级可靠性评估技术

摘要

圆片级可靠性（WLR）评估技术由于其所花时间短，成本低，对工艺改进指导及时，已成为器件可靠性研究的热点。本文将针对VLSI中栅氧的圆片级可靠性评估技术进行研究，分析了氧化膜失效理论，推导出了斜坡式电压与恒压应力间的关系式，给出了利用斜坡式电压测试结果，推算器件氧化膜平均寿命（TDDB）的方法。