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高长径比微孔列阵及其应用

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文中介绍了高长径比微孔列阵的形成工艺,给出了实验结果,指出了通道内壁存在纵向条带式不均匀分布问题,最后介绍了微孔列阵在MCP中的重要应用.

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来源
《第四届全国微米/纳米技术学术会议》|2000年|276-279|共4页
会议地点上海
作者
端木庆铎; 李野; 卢耀华; 姜德龙; 富丽晨; 田景全;
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作者单位

上海交通大学;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类制造工艺;
关键词
微孔列阵; 微通道板; 刻蚀系统;

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