高精度单晶硅加速度计

摘要

概述了适用于惯导系统的单晶硅加速度计的设计思路和基本结构,并介绍了加速度计的核心部件单晶硅摆片和伺服线路的制造技术.测量结果表明,该加速度计的精度达到了5×10<'-5>,具有广泛的用途.