一种单晶硅挠性加速度计的密封方法

摘要

本发明公开一种单晶硅挠性加速度计的密封方法，包括首先将加速度计的壳体和伺服电路模块焊接为一体，再将小圆片焊接在伺服电路模块上，之后通过利用小圆片上的充气孔充入氦气，将充气孔封死后，利用氦质谱检漏仪对最终状态的加速度计进行检漏。采用本发明的方法对加速度计进行密封，密封快速便捷、可靠性高，并通过充氦气利用惰性气体的特性保证了加速度计内部的稳定且提高了导热率，最后通过快速检漏将不合格的产品进行有效拦截，大大减少了加速度计交付后的故障率，本发明能够显著提升加速度计的环境适应性和长期重复性。