首页> 中文会议>第五届全国微米/纳米技术学术会议 >PZT双压电薄膜的设计及动力学研究

PZT双压电薄膜的设计及动力学研究

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

研究了一种管道微机器人驱动器的动作元件PZT—双压电薄膜,针对其应用背景设计了圆形和圆鼓形双压电薄膜结构.分析其运动机理,并利用有限元法研究了其动力学性能.理论上证明了两种结构的双压电薄膜都可以满足微机器人工作效率的要求.制作实验样机,圆形和圆鼓形双压电薄膜微机器人的运动速度分别为18mm/s和6.1mm/s.

著录项

来源
《第五届全国微米/纳米技术学术会议》|2001年|154-157|共4页
会议地点重庆
作者
罗怡; 龚振邦; 孙麟治; 汪勤悫;
展开▼
作者单位

国家自然科学基金委员会;

科技部;

解放军总装备部;

清华大学;

重庆大学;

展开▼
会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类压电陶瓷材料;机器人;
关键词
PZT双压电薄膜; 驱动器; 有限元; 动力学; 管道微机器人;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 硅基PZT压电薄膜微开关的设计和制作 [J] . 娄利飞 ,杨银堂 ,李跃进 . 功能材料与器件学报 . 2007,第6期
2. 硅基PZT压电薄膜微传感器的结构设计和实验研究 [J] . 娄利飞 ,杨银堂 ,李跃进 . 半导体学报：英文版 . 2007,第5期
3. PZT压电薄膜微传感器的优化设计 [J] . 娄利飞 ,杨银堂 ,李跃进 . 机械设计与研究 . 2005,第1期
4. 基于PZT压电薄膜的压力传感器工艺研究 [J] . 刘园园 ,谭晓兰 . 压电与声光 . 2017,第6期
5. PZT压电薄膜无阀微泵的制备工艺及实验研究 [J] . 杜立群 ,高晓光 ,董维杰 . 压电与声光 . 2008,第4期
6. 衬底温度对ZnO／PZT双层压电薄膜的影响 [C] . 谌青青 ,高扬 ,杨涛 . 第十三届全国电介质物理、材料与应用学术会议 . 2010
7. 基于PZT压电薄膜的水声传感器设计及其定向算法研究 [A] . 冯明扬 . 2015

PZT双压电薄膜的设计及动力学研究

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅