次世代MEMSセンサ、アクチュエーター向けPZT圧電薄膜スパッタリング技術による量産装置の販売開始

摘要

アルバック（本社:神奈川県茅ヶ崎市、岩下節生社長）は、次世代MEMSセンサやアクチュエーター向けPZT圧電薄膜の形成のための低温スパッタリング量産技術の高度化を実現、その技術を備えた量産装置の販売を開始した。