次世代MEMSセンサー·アクチュエーター向けPZT圧電薄膜スパッタリング技術の高度化を実現

摘要

自動運転や次世代ウェアラブル端末（スマートグラス等）実現のためのMEMSデバイス開発に障壁となっていた技術課題を解決するPZT圧電薄膜のスパッタリング量産技術の高度化を実現し、量産向け装置の販売を開始した。5GやAIなどテクノロジーの進化により、あらゆる産業がエレクトロニクス化するスマート社会が一層進展し、産業や生活の利便性が増すことが期待されている。自動運転やAR/VR、セキュリティ、スマートフォン等の多機能化にあたっては、各種センサーやフィードバックされた情報をもとに様々なデバイスを動かすアクチュエーターが必要とされ、需要は爆発的に高まる見込み。それらの開発にあたっては小型化·低消費電力化·高性能化·生産コスト低減等が課題となっている。