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用软刻法加工生物样本微阵列排布用喷嘴通道阵列

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摘要

在以微阵列为基础的生物芯片制作中,喷液点样可能将成为较普遍的采用方式.这些装置中,喷嘴是将样本液滴投递到芯片表面的必要通道.文章探索了用新近发展的软刻法在PDMS材料中加工构建喷嘴微通道阵列的工艺过程,对制作过程中的一些相关问题作了讨论.

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来源
《第五届全国微米/纳米技术学术会议》|2001年|61-63|共3页
会议地点重庆
作者
蒋稼欢; 廖海洋; 孙勇; 夏俊培;
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作者单位

国家自然科学基金委员会;

科技部;

解放军总装备部;

清华大学;

重庆大学;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类半导体器件制造工艺及设备;生物信息论;
关键词
软刻法; 微通道; 阵列; PDMS; 生物芯片; 喷嘴;

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