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掺氮非晶金刚石薄膜场致电子发射能量分布的研究

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本文研究了掺氮非晶金刚石薄膜场致电子发射的能量分布.发现能量分布呈多峰分布且峰值位置随场强增大而左移.我们对这些峰的位置和半高宽进行了拟合,并结合准隧穿模型和杂质能带发射模型解释了结果.

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来源
《第八届中国场致发射与真空微电子学学术会议》|2001年|65-67|共3页
会议地点西安
作者
黄南荫; 陈军; 刘小伟; 邓少芝; 许宁生;
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作者单位

中国电子学会;

中国真空学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类场致发射、场致发射阴极;
关键词
掺氮非晶金刚石薄膜; 场致电子发射; 能量分布;
入库时间 2022-08-17 10:21:26

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