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姚若河; 林璇英; 吴萍; 余楚迎; 林扌(葵)训;
中国金属学会;
多晶薄膜; 衬底温度; 固相晶化;
机译:通过HWCVD技术在低衬底温度下获得高沉积速率的高质量a-Si:H薄膜
机译:分子动力学研究衬底温度和Ar离子辅助沉积对非晶TiO2薄膜沉积的影响
机译:在低衬底温度下通过热丝化学气相沉积法沉积的氢化微晶立方碳化硅薄膜的性能
机译:锗离子注入A-Si薄膜中准分子激光退火(ELA)选择性形成的晶种的横向固相重结晶(L-SPR)
机译:硒化镉纳米晶量子点薄膜的薄雾沉积,图案化及应用
机译:衬底温度和氧分压对脉冲激光沉积生长纳米晶铜氧化物薄膜性能的影响
机译:SiN沉积及其氢化对玻璃上蒸发薄膜硅太阳能电池固相结晶影响的研究
机译:膜氢含量和沉积类型对a-si:H薄膜晶化过程中晶粒成核和晶粒长大的影响
机译:使用两种具有不同晶化速度的金属通过金属诱导的横向晶化来形成非晶半导体薄膜的晶化方法,以及使用相同的方法制造薄膜晶体管的方法
机译:沉积在玻璃/蓝宝石/石英基板上的ZNO薄膜的水平化学刻蚀载体,用于表面纹理化以开发A-SI:H太阳能电池
机译:A-SI单和多结薄膜硅太阳能电池的A-SI:H吸收层
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