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用于改进Smart-Cut工艺的氢—氧复合注入探讨

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论述了改进Smart-Cut工艺的氢—氧复合注入,分析了氢—氧复合注入的特点与效率,论证了其用于改进工艺的可行性.

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来源
《'2001全国荷电粒子源粒子束学术会议》|2001年|277-281|共5页
会议地点海口
作者
许泽金; 陈庆川; 童洪辉; 耿漫;
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作者单位

中国电工技术学会;

中国电子学会;

中国电机工程学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类掺杂;
关键词
离子注入; 智能剥离; 复合注入;

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