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微电子机械系统及超微马达国内外研发动态与应用展望

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本文概述了微电子机械系统的技术特点,分析了微电子机械系统的市场发展趋势.介绍了微电子机械系统的重要部件超微马达的类型及其优缺点.

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来源
《中国电子学会第十二届电子元件学术年会》|2002年|109-113|共5页
会议地点张家界
作者
张琛; 陈佳品; 李振波;
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作者单位

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类微电机;
关键词
微电子机械系统; 电磁微马达; 压电马达; 超声马达; 静电马达; 超微马达;

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