法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2012-06-20
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H02J7/00 公开日:20090107 申请日:20080425
发明专利申请公布后的驳回
2009-02-25
实质审查的生效
实质审查的生效
2009-01-07
公开
公开
机译: MEMS --CMOS一种在微电子机械系统中集成互补金属氧化物半导体氧化物CMOS器件的方法在牺牲层之上使用平整表面的MEMS器件
机译: MEMS --CMOS一种在微电子机械系统中集成互补金属氧化物半导体氧化物CMOS器件的方法在牺牲层之上使用平整表面的MEMS器件
机译: 微电子机械系统开关,不会因故障而发生故障,并且提供了一种制造方法