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微电子机械系统中的超微电机

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摘要

介绍了微电子机械系统中的关键执行部件——超微电机,包括静电型微电机、电磁型微电机、超声波微电机等.分析了原理、分类及各自的特点,概述了超微电机的研制发展过程,综述了微电子机械系统中微电机的发展趋势.

著录项

来源
《电子元件与材料》 |2003年第12期|46-48|共3页
作者
陈宝; 施进浩;
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作者单位

信息产业部电子第二十一研究所,上海,200233;

信息产业部电子第二十一研究所,上海,200233;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类特殊电机;
关键词
微电子机械系统; 静电型微电机; 电磁型微电机;

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