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李志国; 刘玉岭;
中国电子学会;
超大规模集成电路; 钨化学机械抛光; 抛光液;
机译:六氟化钨前体用于通孔和插塞金属化的氮化钨沉积研究
机译:浆料pH值对插塞隔离化学机械抛光过程中引起的缺陷的影响
机译:使用钨插塞的快速热氧化的钨氧化物电阻存储器
机译:VLSI铝插铝胶粘化学机械抛光研究
机译:聚丙烯的插塞辅助热成型研究。
机译:肾缺血-再灌注损伤在收集管中引起插塞蛋白的插层细胞特异性破坏
机译:钨化学机械抛光
机译:用插塞式传感器测量ssmE涡轮热通量的研究进展
机译:熔化后有15 [25%钨的15/25%钨合金的3/4或1/2插塞(点火塞)
机译:在没有钨回蚀或CMP工艺的情况下制造钨插塞结构和上覆互连金属结构的方法
机译:用于具有固定研磨垫的化学机械抛光的钨层化学机械抛光溶液以及使用固定研磨垫的钨化学机械抛光方法
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