Al<,x>Ga<,1-x>As选择性湿法氧化技术的研究

摘要

详细研究了温度和Al组分与Al<,x>Ga<,1-x>As横向氧化速率的关系,通过分析氧化机制和实验得到的氧化宽度与时间的线性关系,指出在较短时间内的氧化为受Al<,x>Ga<,1-x>As材料与水汽反应速率限制的过程.运用优化的氧化条件,成功制备了氧化孔径为8μm的垂直腔面发射激光器,最大直径光输出功率为3.2mW,激射波长为978nm.