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热释电焦平面探测器倒装互连工艺研究

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本文概述了热释电焦平面器件的倒装互连,以及各工艺参数之间的关系,并介绍了倒装互连之前的关键工艺——铟(In)柱制备的改良方案.

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来源
《2003年全国光电技术学术交流会暨第十六届全国红外科学技术交流会》|2003年|157-160|共4页
会议地点武汉
作者
杨登全; 黄承彩; 杨瑞宇; 李玉英; 杨春丽;
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作者单位

中国宇航学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类红外探测、红外探测器;红外线探测器件;
关键词
热释电; 混合式; 倒装互连; 铟柱; 焦平面探测器;
入库时间 2022-08-17 11:07:39

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