128×128混合式热释电非致冷焦平面探测器列阵铟膜及铟柱制备工艺研究

摘要

着重介绍了我们在"128×128混合式热释电非致冷焦平面探测器列阵(UFPA)"研制中铟膜及铟柱的制备和我们选择铟做混合式UFPA互连材料的理由与互连方法.强调了铟膜制备基本工艺要求.根据薄膜均匀性要求,计算出了蒸发源距工件的距离及所需材料量,确定了保证铟膜不氧化的关键数据及具体操作.文中给出了铟柱列阵显微照片(显示了铟膜厚度)和铟柱列阵的立体形貌像,还介绍了铟柱列阵成型方法及铟柱生长工艺流程,并叙述了倒装互连技术,且给出了我们的成像演示照片和器件照片,展示了UFPA的应用前景.